成都高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。今天我們就來(lái)聊一聊多少純度才屬于高純氣體。
對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999的為高純氣體；
而對(duì)于氧氣，純度為99.99即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99的即可認(rèn)為是高純氣體。高純?cè)蠚怏w的質(zhì)量對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的準(zhǔn)確性，起著至關(guān)重要的作用。
原料氣的不確定度是構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)氣體合成不確定度的重要部分，因此，沒(méi)有高質(zhì)量的高純?cè)蠚?，就根本制備不出高?zhǔn)度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。
高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?，在半?dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體直接會(huì)影響產(chǎn)品的生產(chǎn)和質(zhì)量，尤其氣體純度則對(duì)元器件性能、成品率是有著決定性的影響。
從超大規(guī)模集成電路到太陽(yáng)能光伏，半導(dǎo)體照明，光纖，再到微機(jī)電產(chǎn)業(yè)，高純氣體都起到了重要作用。集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高、生產(chǎn)過(guò)程更為復(fù)雜，因而所需的氣體種類更多、品質(zhì)要求更高、用量更大，也就氣體純化提出了更高的要求。
廣大特氣工作者為此進(jìn)行了氣體合成、凈化、分析等系列工作，取得了驕人的成績(jī)。標(biāo)準(zhǔn)氣體在配制前后，都需要分析檢測(cè)。近幾年標(biāo)準(zhǔn)氣體組分正由“10-6向“l(fā)0-9發(fā)展。
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