電子特氣電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。國內的高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高一點效能、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至較小，從而較大地改善工藝能力，降低產品缺陷， 提高制程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的高純度電子特氣凈化技術，解決高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。

      高純氣體無機類：

      高純氣體有機類：

      包裝一般采用40升鋼質無縫氣瓶包裝，充裝壓力和充裝量完全符合相關國家標準；特殊氣體規格也可根據客戶要求充裝成8升，4升或其它種類氣瓶液化氣體計量稱重；腐蝕性、反應活性氣體采用代不銹鋼瓶閥和特殊處理氣瓶進行包裝。