成都高純氣體之高純氧制取方法及應用。

制取方法

大部分商品氧都是由空氣分離制造的，即將空氣液化后經精餾提純。也可采用低溫全精餾法。少量氧采用電解氧為原料，經催化脫氫可制取純度為99.99%以上的高純氧。其他純化方法有變壓吸附法和膜分離法

應用

高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。