- 產(chǎn)品介紹
中文名甲硅烷
英文名Silane
別 稱硅烷、四氫化硅、甲硅烷、甲矽烷
化學式SiH4
分子量32.12
CAS登錄號7803-62-5
EINECS登錄號232-263-4
熔 點-185.0℃
沸 點-111.9℃
水溶性溶于水
密 度1.44g/L(0℃, 1bar)
外 觀無色氣體
危險性符號易燃 有害
硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
CAS登錄號7803-62-5
EINECS登錄號232-263-4
熔 點-185.0℃
沸 點-111.9℃
水溶性溶于水
密 度1.44g/L(0℃, 1bar)
外 觀無色氣體
危險性符號易燃 有害
